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晶圆清洗之高频率实验室超声波清洗应用

发布时间:2024-07-10浏览次数: 193

    晶圆是由硅锭切割而成的圆形单个硅片,经过抛光后变得完美无瑕,甚至可以当成镜子。作为高科技行业半导体制造的原材料,要求晶圆表面洁净度高,清洗达到精密清洗级别。

    切割出来的晶圆在加工、成形及抛光处理过程中因与各种有机物、粒子和金属接触而产生的污染物,传统的清洗方法很难彻底清除其中的污垢。超声波清洗机能够将振动波传导到液体中,使得液体能够进入这些难以到达的区域,并通过微小气泡的破裂和流动的冲击力,将污垢清洗出来,保证晶圆的完整性和洁净度。

晶圆清洗超声波清洗应用

晶圆清洗

    清洗前处理:在进行晶圆清洗前,首先需要对晶圆进行表面检查,了解其表面状况,包括油脂、颗粒、化学污染等情况,以便选择合适的清洗液和清洗参数。

    清洗过程:将待清洗的晶圆放置在超声波清洗槽中,加入适量的清洗剂和清水。开启超声波清洗设备,通过超声波振动产生的高频压力波,将晶圆表面的颗粒、油污等污垢彻底清除。

    清洗后处理:清洗完成后,将晶圆取出,进行清水冲洗,确保清洗液残留物彻底清除,然后进行干燥和保养处理。

    实际效果:经过超声波清洗后,晶圆表面清洁度显著提高,无残留杂质,保证了半导体器件的正常工作。

设备选型

    实验室晶圆清洗台式超声波清洗机,云奕有单频、双频、多频的清洗设备选择。可以满足粗洗到精洗的过程,小批量实验的清洗,保证了晶圆表面的高清洁度。晶圆厂的大批量清洗,可以选择自动化程度高的超声波清洗线,从粗洗到精洗到烘干清洗完成的生产线,避免了二次的污染。

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